Ta Püskürtme Hedefi

1.Boyut:Çap 50-400mm X Kalınlık 3-28mm
2.Sınıf:R05200 R05400 R05252 (Ta-2.5W) R05255 (Ta-10W)
3.Saflık: %99,95'e eşit veya daha büyük (Maksimum %99,99)
4. Yeniden Kristalleştirme: Minimum %95
5. Tane Boyutu: Minimum 40um
6.Yüzey Pürüzlülüğü:Maksimum Ra0.4
7.Düzlük:0,1 mm veya maksimum 0,10%
8.Tolerans:Çap +/-0.254mm

Soruşturma göndermek

ürün tanıtımı

Yusheng metal tantal püskürtme hedef üretim süreci
Yusheng Metal'in tantal püskürtme hedef ürünleri, EB elektron bombardımanı, haddeleme ve tavlama işlemleri kullanılarak tantal külçelerden işlenir. Bu işlemle oluşturulan hedeflerin düzgün kristal yapısı, dokusu ve enerji dağılımı vardır ve iç yapısı iyidir.

Son yıllarda IC (entegre devre) endüstrisinin ölçeği genişlemeye devam etti ve çip proses teknolojisi de yüksek yoğunluk yönünde gelişti. Tantal, güçlü kimyasal stabilitesi nedeniyle sıklıkla bakır bağlantı prosesinde difüzyon bariyer tabakası için püskürtmeli kaplama malzemesi olarak kullanılır. Tantal püskürtme hedeflerinin tekdüze mikro yapısı püskürtme performansı üzerinde doğrudan etkiye sahiptir.

Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/ND). İnce filmler üretilirken püskürtme hızı, hedef kalınlığa bağlı olarak değişir ve bu da püskürtme işleminin stabilitesini etkiler.

Ta püskürtme hedefi prensibi

Tantal, ince oksitler oluşturma yeteneği ve oksit tabakasının koruyucu yapısı nedeniyle elektrolitik kapasitörlerin üretiminde sıklıkla kullanılır. Tantal biriktirmenin ilk aşamalarında buharlaştırma kullanıldı, ancak 1960'ların sonlarında ince film biriktirme için üstün yöntemler olarak püskürtme kaplama gibi fiziksel buhar biriktirme teknikleri buharlaştırmanın yerini aldı.

Fiziksel buhar biriktirme işleminde iyonize argon atomları, hedefi etkilemek, metal hedef atomlarını devirmek için elektromanyetik mekaniği kullanır ve metal hedef atomları, ince bir film oluşturmak üzere alt tabaka üzerinde biriktirilir.

tantal püskürtme hedefi

tantal hedef

Yusheng metal üretim ekipmanları

Yusheng Metal, eritme, dövme, sıcak haddeleme, soğuk haddeleme, bitirme ve bitmiş malzemelere kadar eksiksiz bir bilimsel araştırma, üretim, test, satış ve servis sistemleri setine sahiptir. 350KW'lık elektronik doğu bombardıman fırını, 2000T'lik hidrolik pres, 1700mm'lik vakumlu tavlama fırını ve bir adet 42KW ve iki adet 15KW'lık hassas dövme makinesi, 14 adet bitirme şerit değirmeni, LDD120, LDD-40, LDD{{8} bulunmaktadır. }, LDD-8 çift hatlı boru haddeleme tesisi, 2-roll 500T kesme tesisi, 4 soğuk haddeleme tesisi, 6 soğuk haddeleme makinesi Makine, 15KW çift taraflı tel çekme makinesi, silindirik öğütücü, soyma makinesi, yüzey öğütücü ve bir dizi ekipman.

product-1477-390

product-1447-391

product-1446-408

Tantal püskürtme hedefinin uygulanması

Tantal püskürtme hedef malzemesi, basınçla işlenmiş tantal levhalardan yapılmıştır ve yüksek saflık, ince taneler, iyi yeniden kristalleşme yapısı ve iyi üç eksenli tutarlılık özelliklerine sahiptir.
Tantal püskürtme hedefleri optoelektronik ve yarı iletken endüstrilerinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Esas olarak katot püskürtme kaplamaların, yüksek vakumlu emme aktif malzemelerinin, optik fiberlerin, yarı iletken levhaların, entegre devrelerin vb. püskürtmeli biriktirilmesi için kullanılırlar. İnce film teknolojisinin önemli bir parçasıdırlar.

202303061121351610a9b7fc6b401bb34eaf1612b007bd

Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd.nadir altın tantal, niyobyum, vanadyum, zirkonyum ve hafniyum işleme parçalarının küresel tedarikçisidir. Esas olarak teller, çubuklar, plakalar, tüpler, halkalar, potalar vb. ve diğer standart dışı özel işleme parçaları üretir. Malzeme teknolojisi araştırma ve geliştirme zincirinin tamamını, malzeme başarılarının sanayileşmesini, malzeme ürünlerinin uygulanmasını ve tanıtımını, malzeme endüstrisi yığılmasını ve malzeme endüstrisi ekolojisini kapsayan şirketimizin ürün ve malzeme disiplinleriyle ilgili bilgileri düzenli olarak yayınlayacağız. İstediğiniz zaman bizimle iletişime geçebilirsiniz.