Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. araştırma ve üretiminde uzmanlaşmıştır.tantal püskürtme hedeflerive vakum kaplama malzemeleri. Tantal oksit filmleri oluşturma kabiliyetine sahip olduğundan ve koruyucu bir etkiye sahip olduğundan, tantal hedefleri elektrolitik kapasitörlerin imalatı için substrat olarak yaygın olarak kullanılmaktadır. Bu kez, mikroelektronik alanında tantal püskürtme hedeflerinin uygulanması tanıtıldı.
Termal Mürekkep Püskürtmeli Baskı Kafası Uygulamaları için Tantal Hedefler
Termal mürekkep püskürtmeli yazıcı kafaları, tantal hedeflerin kullanımını kolaylaştıran ince film entegre devrelerin imalatında kullanılabilir. Entegre devrelerin üretim sürecinde, mürekkebin film tabakasını 1.28E9 watt/m2'ye yakın bir enerji yoğunluğu ile hızlı bir şekilde ısıtmak için ince film dirençleri kullanılır, böylece bazı son derece küçük mürekkepler, aslında küçük olan genişletilmiş kabarcıklar oluşturmak üzere buharlaşır. mürekkep damlacıkları püskürtülür. . Yüksek sıcaklıktaki mürekkepler bazı inkjet baskı ekipmanlarında kavitasyona neden olabileceğinden, tantal kavitasyon önleyici filmlerin kullanılması mürekkep kurulumlarını koruyabilir.
Bakır Kaplama için Tantal Hedefleri
Tantal ince filmler, entegre devrelerin üretim sürecinde bariz avantajlara sahiptir. Tantal püskürtme hedeflerinin kullanımındaki en büyük gelişmelerden biri bakır kaplama uygulamasıdır. Bakır, düşük sıcaklıkta plazma aşındırma koşulları altında olduğundan, bakır oluşturmak için ışığa dirençli maskeler ve plazma aşındırma teknikleri kullanılamaz. İstenen uçucu bileşenler oluşmaz. Genel olarak, bakır malzemelerin yüksek iletkenliği, bariyer filmin bakırı tamamen izole etmesini gerekli kılar. Ancak bariyer filmi çok kalınsa bakır ara bağlantıların yüksek iletkenlik avantajları kaybolur. Bu nedenle, bakır kaplama şemasında bariyer filminin biriktirilmesinin iyi basamak kaplamasına ve geçiş/siper boşluklarında azaltılmış çıkıntılara sahip olması önemlidir. 0.10um bakır IC'lerin değiştirilmesinde, tantal ve nitrik oksit PVD bariyer filmleri, iyi bakır difüzyonu ve elektrolitlere ve bakıra iyi yapışma gibi bazı benzersiz avantajlar gösterir.
buyüzde 99,98 tantal hedefleriBaoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. tarafından üretilen ürünler genellikle ısıtma parçaları, ısı yalıtım parçaları ve vakumlu yüksek fırınlar için şarj kapları olarak kullanılır. Firmamızın ürettiği tantal hedefleri kimya endüstrisinde substrat olarak kullanılamaz. , havacılık endüstrisi, tıbbi ekipman ve diğer alanlar.
