Bu yazıda hedef bağlama ve astar kalitesinin geniş alanlı kaplama üzerindeki etkisi tartışılacaktır. Metaller, alaşımlar ve çatlamaya yatkın oksitler gibi düşük tokluğa sahip bazı malzemeler kaplama işlemi sırasında etkilenecektir. Döner hedef genellikle hazırlık sırasında paslanmaz çelik astara bağlanır ve hedef genellikle çatlama meydana geldiğinde bakır destek plakasına bağlanır. Metal indiyum veya diğer metal bileşikleri en sık kullanılan bağlayıcı bileşendir.
Taşıma sırasında hedef malzemenin kazara yırtılmasını önlemenin yanı sıra, hedef malzemenin mekanik mukavemet eksikliğiyle ilgili birkaç soruna da yardımcı olabilir. Büyük boyutlu hedeflerin sınırlı kullanımı sorununu çözmek için bu teknikler, hedeflerin arka plakaya eklenmesini içerir. Bu teknikler, hedefin çatlamasına ve düzensiz sıçramasına karşı koruma sağlamanın yanı sıra, hedef malzemenin uygun elektrik temasını ve soğutulmasını garanti edebilir.
Düzensiz termal iletkenlik, yüzey nodülleri ve deşarj fenomeni gibi, hedef malzemenin eşit olmayan şekilde püskürtülmesine (düzensiz film oluşumu) neden olacaktır. Ek olarak, eşit olmayan film oluşumu, eşit olmayan film katmanı rengine neden olacak ve bu da, nihai ürüne bağlı olarak dielektrik katmanın nasıl değiştiğini etkileyecektir. Açıkça reddedilen kaplama sayısını artırın. Sonuç olarak, hedef malzemenin bağlanma özellikleri, nasıl kullanıldığını büyük ölçüde etkiler. Hedef malzemenin termal genleşmesi ve büzülmesi ile paslanmaz çelik borunun termal genleşme katsayısı arasındaki etkileşim nedeniyle, geometrik ZnAl, ZnSn ve SiAl hedefleri gibi iyi termal iletkenliğe sahip ancak bağlanma gerektirmeyen bazı metal veya alaşımlı dönen hedeflerin boyutu sıcaklıkla birlikte artar.
Değişimin ve değişimin düzenlilik katsayısı birbirinden farklı olduğundan yapıştırma için belirli bağlantı malzemelerinin kullanılması gerekir. Karışım zayıfsa hedef malzeme dengesiz ısınır, ısı iletimi engellenir, çatlama ve düşme meydana gelir. meydana gelmek. Bu problemlerin kaplamanın kalitesi ve ürün üretme yeteneği üzerinde etkisi olacaktır.
Genel olarak seramik hedef malzeme, püskürtme işlemi sırasında hedef malzemenin yüksek ısı üretimine bağlı olarak zayıf bir ısı dağılımına sahiptir. Bağlanmanın büyük bir alanı varsa ve bağ zayıfsa, püskürtme işlemi sırasında lokal ısı üretmek kolaydır. Düşük erime noktalı bir bağlama malzemesi olan indiyum birikir ve erir, bu da hedef malzemenin çatlamasına ve hatta kopmasına neden olur.
Hedef kaplama büyük ölçüde hedef malzemenin bağlanmasına ve astar tüpünün kalibresine bağlıdır. Bu, etkili bir filmin yerleştirilmesini sağlamak için ekibin uyanıklığının yanı sıra profesyonelliğini de gerektirir.
