Hepimizin bildiği gibi hedefin temel performans göstergelerinden biri saflıktır. Hedefin saflık gereklilikleri pratik uygulamalarda farklılık gösterir. Yüksek saflıkta titanyum hedef malzemesinin kullanımı daha pahalıdır ve tipik endüstriyel saf titanyumdan daha küçük bir uygulama penceresine sahiptir. Öncelikle birkaç uzmanlaşmış sektörün ihtiyaçlarını karşılamak için kullanılır. yüksek saflıkta titanyum hedeflerin birincil kullanım alanları nelerdir?
Yüksek saflıkta titanyum hedefler çoğunlukla aşağıdakiler için kullanılır:
1. Biyolojik bileşenler
Titanyum manyetik olmadığı için güçlü bir manyetik alan onun mıknatıslanmasına neden olmaz. İnsan vücuduyla iyi çalışır ve herhangi bir olumsuz yan etkisi yoktur. İnsan vücuduna yönelik implantlar oluşturmak için kullanılabilir. Bununla birlikte, titanyumdaki safsızlıkların çözündüğü göz önüne alındığında, implantlar için titanyumun saflığı mümkün olduğu kadar yüksek olmalıdır. Genel olarak tıbbi titanyum malzemeleri yüksek saflıktaki titanyum seviyesine ulaşamaz. Biyolojik çemberleme yüksek saflıktaki titanyum telden yapılabilir. Kateter içine yerleştirilmiş titanyum enjeksiyon iğnesi de aynı şekilde yüksek saflıktaki titanyum seviyesine ulaşmıştır.
2. Dekorasyon malzemeleri
Yüksek saflıkta titanyum, atmosferik korozyona karşı yüksek direnci sayesinde atmosfere uzun süre maruz kaldıktan sonra bile orijinal doğal rengini korur. Bunun sonucunda mimari süsleme malzemeleri de yüksek saflıkta titanyumdan yapılabilir. Ayrıca son yıllarda titanyum da kullanılmaya başlandı. bilezikler, saatler ve gözlük çerçeveleri de dahil olmak üzere çeşitli lüks aksesuar ve kıyafetlerin yapımında kullanıldı. Titanyum korozyona karşı dayanıklı olması, renk değiştirmemesi, parlaklığını çok uzun süre koruyabilmesi ve temas ettiğinde insan cildini tahriş etmemesi nedeniyle kullanılmaktadır. Kullanılan titanyumun saflık düzeyi 5N'dir. bazı süslemeler yapılmıştır.
3. Malzeme toplayıcı
Titanyum, yüksek sıcaklıklarda çok çeşitli maddelerle etkileşime girmesine izin veren kimyasal özelliklere sahip, özellikle reaktif bir metaldir. Yüksek saflıkta titanyumun yüzeyinde O2, N2, CO, CO2 ve su buharı dahil olmak üzere güçlü aktif gaz adsorpsiyonu meydana gelir. 650 derecenin üzerinde. Pompa duvarında buharlaşan Ti filmi yüksek adsorpsiyon kapasitesine sahip bir yüzey oluşturabilir. Bu özelliği nedeniyle Ti, son derece yüksek vakumları pompalamaya yönelik sistemlerde sıklıkla bir alıcı olarak kullanılır. Püskürtme iyon pompasının nihai çalışma basıncı, süblimasyon pompalarında, püskürtme iyon pompalarında kullanıldığında 10-9Pa kadar düşük olabilir. vesaire.
4. Elektronik formdaki bilgilendirici ortamlar
Püskürtme hedeflerinde, entegre devrelerde, DRAM'lerde ve düz panel ekranlarda yüksek saflıkta titanyumun kullanımı, yüksek teknoloji endüstrilerinin yarı iletken teknolojisi ve bilgi teknolojisi gibi alanlardaki hızlı genişlemesinin bir sonucu olarak son zamanlarda genişledi. İlerleyin. Yarı iletken VLSI endüstrisindeki kontrol elektrotları için difüzyon bariyerleri ve kablolama malzemeleri olarak, titanyum silikon bileşikleri, titanyum nitrojen bileşikleri, tungsten titanyum bileşikleri vb. Bu malzemeler, yüksek bir titanyum hedefi gerektiren püskürtme tekniği kullanılarak üretilir. özellikle radyoaktif ve alkali metal elementler için saflık derecesi.
Son zamanlarda püskürtme işleminde kullanılan titanyum hedefinin saflığıyla eşleşen yüksek saflıkta titanyum da kullanılmaya başlanmıştır. 4 Mbit VLSI için halihazırda titanyum saflığının en az 4N5 (%99,995) veya 5N (%99,999) olması gerekmektedir, 16 Mbit üçüncü nesil VLSI için ise en az 6N (%99,9999) olması gerekiyor.
