Birçok püskürtme hedefi türü, yüksek saflık gereksinimleri ve çok çeşitli uygulama endüstrileri vardır. Bugün dört alanda yaygın olarak kullanılan dört tip püskürtme hedefi, yüksek saflıkta alüminyum hedefler, titanyum hedefler, tantal hedefler ve tungsten hedefleri hakkında konuşacağız. Titanyum hedef. Kapsadıkları alanlar arasında düz panel ekranlar, yarı iletkenler, depolama ve güneş pilleri bulunur.
Alüminyum hedefi (stok saflığı yüzde 99,99 - 99,999 yüzde)
Yüksek saflıkta alüminyum ve alaşımları, en yaygın kullanılan iletken ince film malzemelerinden biridir. Uygulama alanında, VLSI çiplerinin üretimi, çok yüksek saflıkta, tipik olarak yüzde 99.9995 kadar yüksek hedef metallerin püskürtülmesi gerektirirken, düz panel ekranlar ve güneş pilleri biraz daha düşük metal saflığına sahiptir.
Titanyum Hedefi (Stok Saflığı yüzde 99,99 - 99,999 yüzde )
Titanyum, VLSI çiplerinde yaygın olarak kullanılan bariyer film malzemelerinden biridir (karşılık gelen iletken katman malzemesi alüminyumdur). Titanyum hedef, talaş öncesi imalat sırasında titanyum halka ile birlikte kullanılacaktır. Ana işlevi, esas olarak ultra büyük ölçekli entegre devre çip üretimi alanında kullanılan titanyum hedeflerin püskürtme işlemine yardımcı olmaktır.
Titanyum tungsten hedefi (stok saflığı yüzde 99,95)
Tungsten-titanyum alaşımları düşük elektron hareketliliğine, kararlı termomekanik özelliklere, iyi korozyon direncine ve iyi kimyasal stabiliteye sahiptir. Son yıllarda, yarı iletken yongaların kapı devreleri için temas katmanı malzemeleri olarak tungsten-titanyum alaşımlı püskürtme hedefleri kullanılmıştır. Ayrıca tungsten ve titanyum hedefler de yarı iletken cihazların metal bağlantılarında bariyer katmanları olarak kullanılabilir. Yüksek sıcaklıktaki ortamlar için, özellikle vlsI ve güneş pilleri için.
Tantal hedefi (stok saflığı yüzde 99, yüzde 99,5, yüzde 99,9, yüzde 99,995, yüzde 99,99, yüzde 99,995 yüzde 99,999)
Akıllı telefonlar ve tablet bilgisayarlar gibi tüketici elektroniği ürünlerine olan talebin patlayıcı bir şekilde artmasıyla, üst düzey çiplere olan talep önemli ölçüde arttı ve tantal popüler bir mineral kaynağı haline geldi. Bununla birlikte, tantal kaynaklarının kıtlığı, çoğunlukla büyük ölçekli entegre devrelerde ve diğer alanlarda kullanılan yüksek saflıktaki tantal hedeflerini pahalı hale getirir.
Baoji Yusheng Metal Technology Co, Ltd üretim ve satış konusunda uzmanlaşmış bir yüksek teknoloji kuruluştur.püskürtme tantal hedeflerive refrakter demir dışı metal malzemeler. Ürünler yaygın olarak petrol, kimya, elektronik, el sanatları, makine imalatı, tıbbi ekipman ve diğer alanlarda kullanılmaktadır. Ürünler yurtiçi ve yurtdışı ülkelere ihraç edilmektedir.
